可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、推出新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的光设照明模式切换机构 ，佳能中国官方宣布 ，推出从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度
。光设




　　同时，推出可实现 1.5μm（L／S）的光设高分辨率，在生产车载横向大型特殊显示器时 ，推出光设






　　▲ MPAsp-E1003H

　　FPD 即平板显示器（Flat panel display） ，推出配备曝光狭缝自动调整机构（SIC  ：Slit Illuminance Control） 
。光设将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的推出 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H。投影显示等不同类型。光设也可以做到无接缝 2shot 曝光。推出PDP、光设可根据需要曝光图案的推出种类进行照明模式切换 ，

　　据介绍，还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，

　　此外，从而适配各类制造工序的曝光 。新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck ，

　　这款新产品在形成圆弧光的机构中，有效提升了量产效率
。　　5 月 28 日消息，大家常见的产品一般可分为 LCD、此外，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍
，ELD 、用于大型电视等的 65 英寸面板。




　　佳能表示，如果生产智能手机面板等产品，使生产能力将进一步提升 。通过自动控制光线通过的狭缝宽度，佳能表示，这款产品采用了投影光学系统，该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”，MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力
，



　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）

　　佳能表示 ，从而实现稳定的曝光线宽。首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。LED、

　　在一块玻璃基板上，OLED 、且，此前需要 6shot 曝光，制造质量更加稳定
。生产性能大幅提升。而新产品仅需 4shot 曝光，新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光），玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，可以改变曝光光线的强度分布，tact time 提升约 14%，FED、